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氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕測試儀氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕測試儀 根據壓頭上自動連續(xù)增加的垂直載荷，測定劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷， 即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C
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